周轉(zhuǎn)筐周轉(zhuǎn)籃周轉(zhuǎn)盒清洗機
晶圓盒、硅片盒自動清洗機
| 公司名稱： | 廈門和偉達超聲波設備有限公司 |
|---|---|
| 地????址： | 廈門火炬高新區(qū)（翔安）產(chǎn)業(yè)區(qū)翔虹路33號 |
| 手????機： | 邱經(jīng)理 18060963375 |
| 電????話： | 5656688 5656655 |
| 公司網(wǎng)址： | m.bcbb.com.cn |
| QQ： | 3976837902 |
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產(chǎn)品介紹
全自動晶圓盒超聲波清洗烘干機
1、設備名稱：全自動晶圓盒超聲波清洗烘干機
2、設備型號：HD-QC7120/40C
3、設備用途：主要用于清洗4寸晶圓盒
4、設備能力
4.1清洗籃尺寸：400×400mm（L×W）高度根據(jù)實際情況另定，以最終設計為主，采用不銹鋼材料制作（清洗籃底部采用鏤空設計，解決清洗籃對超聲波的衰減，有效提高了超聲波對盒體清洗力度，從而保證了盒體的清洗質(zhì)量）。
4.2清洗籃的裝載能力：同時可裝4寸晶圓盒6套。。
4.3典型生產(chǎn)節(jié)拍：0～8min/筐（從裝籃進行清洗開始，到完成結束，清洗節(jié)拍連續(xù)可調(diào)）。
4.4生產(chǎn)能力和開機率：生產(chǎn)能力≥120套 /小時，開機率≥95%。
5、設備組成
該設備由1個SUS304不銹鋼噴洗槽、2個SUS304不銹鋼超聲堿洗槽、3個SUS304不銹鋼超聲漂洗槽、1個SUS304不銹鋼脫水槽、1個300LSUS304不銹鋼儲液槽、1個600LSUS304不銹鋼凈水槽、2個不銹鋼自動進出料裝置、1個內(nèi)膽為SUS304不銹鋼三工位熱風循環(huán)干燥出料裝置、A3鋼機架（外包不銹鋼板）、1.0mm不銹鋼外殼、1套智能式雙臂多勾機械手、1套甩干脫水裝置、5套超聲波清洗裝置、自動加熱恒溫裝置、自動過濾循環(huán)裝置、低液位保護裝置、密封抽氣接口裝置、1套馬達驅(qū)動凸輪上下拋動輔助清洗裝置、PP管路系統(tǒng)及觸摸屏PLC電氣控制系統(tǒng)等組成。詳見設備結構示意圖。
6、設備工作流程
6.1工藝流程
上料（手動）→噴淋粗洗→超聲粗洗（拋動、加熱）→超聲精洗（拋動、加熱）→超聲純水漂洗（拋動、加熱）→超聲純水漂洗（拋動、加熱）→超聲純水漂洗（拋動、加熱）→甩干脫水→通過式三工位烘干→下料（手動）
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