清洗機-半導(dǎo)體清洗機全自動晶圓刻蝕機福建廈門濕法刻蝕耐強酸堿

一、清洗設(shè)備設(shè)計概要：

1、有機溶液超聲波清洗槽1個 

2、酒精超聲波清洗槽 1個

3、DI水洗超聲波清洗槽  1個

4、熱風(fēng)烘干槽 1個

5、去膠超聲波清洗槽  1個

6、慢提拉機構(gòu)   4套

一、設(shè)備的安全使用信息

★確定整臺設(shè)備處于安全狀態(tài)且各周邊配件都接好并能產(chǎn)生功效時，確信所有人員均處于安全位置才可開始運行設(shè)備。

★設(shè)備運行時切勿打開蓋子或觸摸正在運轉(zhuǎn)中的機器部件，不得將手或工具伸入設(shè)備內(nèi)部。

★不得拆下或忽視設(shè)備安全保護(hù)裝置，并應(yīng)該每天對這些安全設(shè)施（如“緊急停止”按鈕、 門板光電感應(yīng)開關(guān)等）進(jìn)行檢查。

★操作機器時，切不可靠近轉(zhuǎn)動部件的工作范圍，該范圍內(nèi)的人為或物體干涉，都會影響設(shè)備的生產(chǎn)流程。操作時應(yīng)穿戴具有防護(hù)功能的服飾，不得穿戴松散衣物。

★進(jìn)行設(shè)備清理、檢查和維護(hù)前先切斷電源供給部分。否則，接觸傳感器或按鈕時可能引發(fā)意想不到的后果。

★打開電源開關(guān)后，不得對電控柜內(nèi)部進(jìn)行操作，以防觸電。

★不得將電子或電氣元件與水或濕氣相接觸，否則會使該元件損壞，或有發(fā)生電擊的危險。

★不可將酸或堿滴到設(shè)備的電氣控制部件以及某些馬達(dá)的內(nèi)部元件里去，因為在稀釋過程中產(chǎn)生高溫的情況下，滴到這些部件上的酸或堿會將其零件腐蝕。

★萬一設(shè)備出現(xiàn)故障，請馬上關(guān)掉設(shè)備以使危害減小。

★為使光電感應(yīng)開關(guān)準(zhǔn)確工作，需經(jīng)常保持其清潔。

★設(shè)備在關(guān)機后仍在一定的時間內(nèi)會保留余溫。為避免使設(shè)備受到損傷，應(yīng)該在加熱管關(guān)掉5分鐘后才開始排放液體。

★隨時檢查所有線路、管道及螺栓連接處的明顯損傷，發(fā)生明顯的變化時將情況立即報告給管理者。

★進(jìn)行維修時，不可忽視設(shè)備各部分的安全互鎖，并放好警示標(biāo)志。

★長時間于工作環(huán)境呼吸以及廢物的蒸汽（例如抗蝕劑蒸汽和溶劑）都會危害人體健康，應(yīng)經(jīng)常對排氣裝置進(jìn)行檢查。

★遵守設(shè)備所允許的操作溫度(如：聚丙烯(PP) : 90℃)

★所有過濾桶都在設(shè)備關(guān)掉后方可打開。

★設(shè)備中塑料元件摩擦溫度(PP, PE, PVDF)可達(dá)40℃,防止?fàn)C傷。

★設(shè)備后面及下面的管道一直都在使用中，只有在經(jīng)過足夠長時間的冷卻后方可接觸。    

本設(shè)備的生產(chǎn)均依照標(biāo)準(zhǔn)和公認(rèn)安全準(zhǔn)則，所有原廠組件均可耐多種化學(xué)溶劑，但使用廠家應(yīng)承擔(dān)自行選擇和使用的設(shè)備在訂購時未聲明的化學(xué)藥水帶來的責(zé)任和風(fēng)險。本公司無法保證使用的任何藥水均不會對設(shè)備造成直接或間接損害。該設(shè)備只可用于指定操作，切不可用于指定用法以外的其它目的的操作。若不遵守該手冊的說明指示而將設(shè)備用于其它場合或使用許可以外的生產(chǎn)原料則有可能產(chǎn)生無法預(yù)計的不良后果。本公司將不對在這種情況下可能發(fā)生的風(fēng)險負(fù)任何責(zé)任。不正當(dāng)使用設(shè)備產(chǎn)生的后果一律由用戶自身承擔(dān)。

2-1“緊急停止”操作介紹

“緊急停止”按鈕位置示意：操作該設(shè)備的人員請先仔細(xì)閱讀該頁，并熟悉“緊急停止”按鈕在設(shè)備上的位置。

                                                                                                                   該設(shè)備上共有若干個緊急停止按鈕。分別在觸摸屏上，設(shè)備的中部以及上、下料段等處。如果設(shè)備出現(xiàn)故障或報警蜂鳴器響起，要立即按下“緊急停止”項

緊急停止以及再開機使用步驟如下：

1-1蜂鳴器響起，電控柜上的“警報”按鈕燈亮，按下“緊急停止”按鈕。此時設(shè)備將停止運轉(zhuǎn)，但程序并不會退出。

1-2即時找出故障并將其排除。

1-3旋轉(zhuǎn)“緊急停止”按鈕使其復(fù)位。

1-4按下“電源”開關(guān)開動設(shè)備。

2-2設(shè)備的安全安裝

按提供的設(shè)備總圖把設(shè)備安裝在指定位置。提供適當(dāng)?shù)耐L(fēng)及操作空間。設(shè)備的安裝現(xiàn)場要求通風(fēng)，對設(shè)備保持足夠的正壓，使用前要先打開設(shè)備排廢氣系統(tǒng)，生產(chǎn)現(xiàn)場通風(fēng)。在設(shè)備周圍有足夠的空間，便于出入、清潔和維修?？刂乒竦臄[放位置要合理，滿足操作設(shè)備時能看到控制柜的控制裝置同時也能在控制裝置處看到設(shè)備各項工作情況，這對保證生產(chǎn)線上的工作人員的安全極其重要。注意將電控柜與設(shè)備危險區(qū)保持足夠距離（不妨礙操作設(shè)備和電源控制）、在未經(jīng)本公司同意時，不得更改控制程序的任何部分。若因生產(chǎn)需要，進(jìn)行任何機械或電控系統(tǒng)更改時經(jīng)過本公司授權(quán)。

主要清洗對象：

設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖