單槽、多槽超聲波清洗機
半導體刻蝕機
| 公司名稱: | 廈門和偉達超聲波設備有限公司 |
|---|---|
| 地????址: | 廈門火炬高新區(qū)(翔安)產(chǎn)業(yè)區(qū)翔虹路33號 |
| 手????機: | 邱經(jīng)理 18060963375 |
| 電????話: | 5656688 5656655 |
| 公司網(wǎng)址: | m.bcbb.com.cn |
| QQ: | 3976837902 |
| 價格: | 價格面議 |
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摘要
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半導體刻蝕機機全自動晶圓刻蝕機福建廈門濕法刻蝕耐強酸堿刻蝕機
產(chǎn)品介紹
工藝零件參數(shù)
●清洗對象:6〞及以上晶片表面上刻蝕出指定電路或做邊沿刻蝕;
●清洗量:非標可定制
設備結構參數(shù)(部分設備參考)
設備框架及外包板
●SUS304框架;
●進口鹽白PP外包板;
●臺面板網(wǎng)孔板設計,可單獨拆裝;
●其它材料:前門板為透明PVC,前門采用左右拉門;
●水平調(diào)整:通過地腳調(diào)整設備水平;
●設備移動:設備裝有腳輪以備設備移動之用,機器內(nèi)部上方有防酸日光燈;
●主體設備外形尺寸:非標可定制
POS1、POS3、POS5、酸洗槽
●槽體材質(zhì):進口PVDF,單槽結構,防漏槽材質(zhì):PP;
●內(nèi)槽型式:STATIC;
●清洗藥液:混酸;
●藥液供給:手動供給;
●槽體蓋子:有,PP槽蓋;
●上下慢提拉機構:a.伺服慢提拉機構,
b.搖擺距離(可設定)
c.防腐承載掛鉤,
d.搖擺次數(shù) 次/min;(可設定)
●排氣:共用排氣管路,材料為PP,設防腐排氣風機,配置連接法蘭及調(diào)節(jié)閥門,接口在設備的上部;
●排液:分兩路,一般排放(洗槽廢水)手動;單獨排放,自動,氣動閥(廢液)
POS2、POS4、(QDR槽)
●槽體材質(zhì):PP, 內(nèi)外槽結構,V型四邊溢流,防漏槽材質(zhì):PP;
●清洗時間設定:0~9999sec;
●鼓泡:鼓泡管PP材質(zhì),電磁閥控制,手動閥調(diào)節(jié)N2流量。
●噴淋:噴淋管PP材質(zhì),PVDF
●溫度:RT;
●排氣:共用排氣管路,設防腐排氣風機,材料為PP,配置連接法蘭及調(diào)節(jié)閥門
●進水閥及噴水閥均采用氣動閥及手動流量控制閥;
●排液:自動排液,氣動閥,一般排水管線。
●程序設定循環(huán)沖洗次數(shù)及噴淋時間(可調(diào))
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